二手 NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT #9258492 待售

NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT Reactor是一种模块化的高通量真空设备，专为半导体製造过程而设计。该系统由反应堆室、抽水装置和工艺模块组成。反应堆室是一种独特的步进电机驱动的钢架，设计用于在运行过程中向上、向下或周围移动。它具有高通量模块化负载锁定机,可配置用于多个应用程序,包括沉积、蚀刻和表面修改。抽水工具由真空泵、节气门、气体节气门和过滤器组成。它拥有高通量透析资产，支持低压和高通量操作。真空泵采用多级设计，保证了可靠高效的清洁操作，而节气门则允许调节模型压力以获得最佳性能。另一个特点是一个可编程的热控制器和气体节气门线，能够准确控制气体流动和温度。工艺模块是CONCEPT 3 Speed XT Reactor最重要的部件。它包括一个工艺室、一个隔离区域、一个电源、工艺自动化和低温系统。该工艺室具有专有的均匀工艺控制，在化学结构和结晶结构中均具有均匀性。它还具有硬件、软件和自动机器人自动化功能，用于高吞吐量处理。隔离区将敏感部件与腔室的活动环境隔离开来，确保设备的持续运行。电源提供高精度直流电压，以实现高效运行。最后，低温系统降低了热量，提高了工艺的均匀性。总体而言，NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT Reactor是一种先进的模块化半导体制造装置，具有独特的特点，可用于高通量处理。其模块化的锁载机易于配置，以适应各种应用，而其抽油机则高效可靠。其工艺模块是这一资产的核心，拥有对化学和结晶结构的高效和精确的控制。该模型非常适合任何半导体制造过程，在非常高的吞吐量下提供快速可靠的处理。