二手 NOVELLUS Concept 3 Speed XT #9382870 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed XT Reactor是一种革命性的重蚀刻和高度先进的CVD沉积技术。X系列是一款获得专利的模块化设备,旨在实现快速的处理时间、卓越的均匀性和更高的产量。适合大批量生产，基材种类繁多。Concept 3 Speed XT Reactor具有三速配置、坚固的设计和卓越的工艺控制,为要求最苛刻的工艺提供了前所未有的精度和可重复性。该反应堆用途广泛，能够采用湿法和PECVD法运行。它具有开放式笼式配置,与前代产品相比,它具有更高的工艺一致性和更低的运营成本。它也因其集成的传热系统而节能，减少了发热，最大限度地提高了机组的效率。集成的智能工具控制允许高效处理复杂的配方和快速设置流程。NOVELLUS Concept 3 Speed XT Reactor提供同类产品中最高的反射和吸收材料处理能力,它配备了自动清洁机,可降低污染风险并提高生产率。其Auto-shim功能允许轻松调整刀具的表面水平以满足不断变化的工艺要求,而气体处理工具则使用集成传感器进行高级气流控制。Concept 3 Speed XT Reactor在产品基板上提供业界领先的低粒度,具有先进的工艺监控功能。该反应堆采用严格的压力和温度控制，确保了高水平的工艺质量和可靠性，并在其底物范围内提供了最高的收率与成本之比。它还提供了高度的灵活性,允许轻松重新配置,以便为每个客户及其应用程序定制生产过程。NOVELLUS Concept 3 Speed XT Reactor是要求苛刻的大批量生产的理想选择。其坚固、安全的设计、集成的传热资产和先进的过程控制功能确保了最大的性能和统一性。Auto-shim和气体处理模型使多种基材和复杂配方的设置更快、处理效率更高。此外，它的低粒度设计确保了最高产量和一流的工艺质量。