二手 NOVELLUS Concept 3 Speed #293592759 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed是一种用于半导体和光伏工业的高性能化学气相沉积（CVD）反应器。它提供了更快的底物装卸，以及更高的吞吐量和更好的工艺均匀性。概念3 Speed有三个阶段的处理，每个阶段的设计都是为了产生不同的CVD过程结果。第一阶段包括一个等离子体发生器和一个旋转木马控制，允许自动基板载荷。通过控制等离子体反应中使用的气体，这一阶段有助于确保所需材料的均匀涂层。第二阶段设计用于高速率沉积，采用屏蔽多UT™（均匀锥形）淋浴头。这种喷头设计用于提供精确、均匀的沉积气体分布，从而加快和提高薄膜沉积速率。最后，利用第三阶段实现基板的高速率沉积和快速冷却。它由一个冷却室组成，它直接冷却基板表面，使膜冷却和降低材料温度。这有助于降低过热的风险，这可能导致不必要的结果。此外，第三级还包括一个低压系统，该系统将腔内容积中存在的气体排空，以保持腔内清洁。总之，NOVELLUS Concept 3 Speed是一种先进的、高性能的CVD反应器，允许快速的底物装卸，提高吞吐量和更好的工艺一致性。它由三个阶段组成，每个阶段设计用于不同但基本的功能，以便在CVD过程中为任何基板提供精确一致的涂层。