二手 NOVELLUS Concept 3 Speed #293808529 待售
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ID: 293808529
晶圆大小: 12"
HDP CVD System, 12"
(12) Cartons:
EFEM, TM
(3) Process modules
Chase monitor
Front monitor
AC Rack
RF Rack
NTU Box
NPP Rack
Transformer
Cables.
NOVELLUS Concept 3 Speed是为先进半导体制造而设计的最先进的化学气相沉积（CVD）反应器。该设备旨在生产极高的薄膜纯度和器件产量，能够沉积金属、介电、石墨烯等多种功能性薄膜。Concept 3 Speed配备了一个紧凑的高速反应堆堆芯，在直径13英寸的腔室中以高达30 μ m/min的高加速度运行。这种高速有利于薄膜的沉积，厚度可控且均匀。该系统还配备了双气流单元（DAFS），以保持均匀的工艺参数和低温瓶颈，以及先进的晶片卡盘，用于精确的晶片控制。NOVELLUS Concept 3 Speed利用基于MFC的气流控制来管理过程关键输入和输出,以保持室内的稳态条件,从而允许在开发新胶片时进行实验室规模的测试。这台机器还经过优化，以减少耗电量，确保能源成本保持在较低水平。过程控制工具基于先进的自动化算法，提供精确的过程控制和高可靠性。它包括HMI技术，操作员可以轻松地实时监控过程。此资产支持各种晶圆尺寸,并且可能适用于3英寸批处理,从而在生产环境中提供最大的灵活性和可扩展性。概念3 Speed非常适合制造高端CMOS和MEMS设备,因为它的高质量薄膜非常适合与设备结构配合使用。此外，由于其先进的自动化、可扩展性和提高的能效，这对于制造商和研究人员都是一个可靠的选择。NOVELLUS Concept 3 Speed专为速度、品质和准确性而设计。
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