二手 NOVELLUS Concept 3 Speed #9263261 待售

ID: 9263261
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
CVD System, 12" Process: Nitride Main frame (EFEM / TM) Chamber A, B and C AC Rack RF Rack 2004 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Speed是一种无工具、模块化的过程反应器,设计用于高精度的过程开发。此设备提供快速的无工具配置,以最大程度地减少停机时间并最大限度地提高用户的工作效率。Concept 3 Speed具备高速工艺控制功能、快速无刀具设置以及快速调整和优化工艺配方的能力,为开发和生产高级工艺提供了低风险的制造解决方桉。NOVELLUS Concept 3 Speed是一款用途广泛的制造设备,能够处理各种过程。它配备了广泛的舒适功能,如:现代化、用户友好的触摸屏用户界面;用于产品清洁和控制沉积的多个喷嘴;不同工艺参数的可变流量控制,如温度、压力和真空;直流基板偏置;以及快速、清洁的过程气体之间切换,以最大限度地提高生产率和最大限度地减少停机时间。Concept 3 Speed的模块化体系结构允许用户通过可自定义的功能和升级来配置和扩展系统,从而获得最大的单元灵活性。它的模块化设计在维护方面也是有益的-更换组件可以快速轻松地换出,而不会牺牲机器性能或功能。NOVELLUS Concept 3 Speed还提供了先进、集成的监控和数据收集工具,允许用户实时记录和审阅关键流程数据。这一资产的设计既具有高度的可靠性,又具有高度的可扩展性,允许用户从多个反应堆和/或生产地点收集和储存数据。然后,这些数据可用于监视过程性能、统计过程控制以及其他重要的工程和过程开发任务。Concept 3 Speed的高级配置选项允许精确控制整个生产过程,其强大可靠的系统旨在帮助确保保持最高的生产质量。此外,NOVELLUS Concept 3 Speed具有无刀具配置和快速、干净的工艺配方切换功能,是经济高效、精确、快速生产高级工艺的理想机器。
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