二手 NOVELLUS Concept 3 Speed #9364308 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed是一种高度创新的化学气相沉积（CVD）反应器，旨在提高加工能力。它是集成电路制造和半导体器件制造的革命性工具。概念3 Speed采用单晶片旋转和固定阴极设计，使其能够提供出色的均匀性和沉积速率。其先进灵活的群集工具体系结构提供了与所有NOVELLUS系统的轻松集成和最大化共存。这个CVD反应堆配有一个可升级的自动化模块，提供高水平的直通式，和卓越的质量处理结果。NOVELLUS Concept 3 Speed具有高流量气体面板，以提高生产力。它具有两个可调节的倾斜淋浴头，通过预溷合室增强，提供最佳的温度、压力和气流方差控制。这项技术可以采用直列式或跨流式气体溷合物操作，提供出色的材料均匀性。概念3 Speed还通过其集成的热源提供了改进的过程稳定性。这种热源设备具有先进的三层扩散板，具有均匀的散热特性，可实现最佳的材料成本。NOVELLUS Concept 3 Speed独特的自清洁推板消除了粒子堆积的可能性，提供了一致的过程流。此外,自动离线工艺鉴定还可以快速调整涂层和优化的膜/基板界面特性。其先进的多位置晶圆操纵系统（PWMS）增强了Concept 3 Speed的性能。该单元支持晶圆接缝和环加载，提供了晶圆和前体处理的灵活性。此外，PWMS通过减少基板处理时间来提高机器的速度。NOVELLUS Concept 3 Speed提供了无与伦比的功能,提高了产品耐用性、增强了过程灵活性和高产效率。它是半导体器件制造商经济高效可靠的CVD反应器解决方桉。