二手 NOVELLUS Concept 3 Vector Express #293641738 待售
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NOVELLUS Concept 3 Vector Express Reactor是一种革命性的先进物理气相沉积（PVD）设备，利用电离原子或离子将材料的纤薄涂层沉积到不同的表面上。反应堆部分包括离子源和磁控管溅射室，由双射频（RF）发电机和强大的脉冲发电机供电。离子源使得能够从如氮气、氙气和其他惰性气体等成分产生电离气体。磁控管溅射室然后利用这些离子溅射由特定材料组成的安装目标。所沉积的材料范围从铜或铝，到钨、钼、钛，或其他金属和合金。Vector Express Reactor是一种高精度的设备。它具有双目标发电机，能够将多种厚度不同的材料沉积到基板上。双目标功能允许同时使用两种目标材料,同时使用桌面软件控制确切的层厚度。涂层的厚度可以精确控制到一纳米的分辨率。Vector Express Reactor也使用了先进的多表面基座系统。可以根据正在沉积的材料的类型来调整这个持有者单元，以提供薄膜的均匀沉积。持有机也可用于为底物上的局部电离提供燃料。这样就形成了均匀均匀的涂层。尽管Vector Express Reactor是一种功能强大的工具,但它的复杂性和较高的拥有成本最适合大型生产环境。这种专门的沉积反应器非常适合大规模生产具有最佳薄膜特性和高通量的薄膜。它对层厚度和局部电离燃料的数字控制也是半导体、MEM、LED和光学器件制造的理想选择。
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