二手 NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9246247 待售
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ID: 9246247
System
Gas configuration:
Gas / MFC Type / Size (SCCM) / Filter (P/N)
SiH4 / BROOKS / 1500 / 1-888-554-FLOW
N2 / BROOKS / 10000 / 1-888-555-FLOW
He / BROOKS / 20000 / 1-888-556-FLOW
NH3 / BROOKS / 1000 and 10000 / 1-888-557-FLOW
N2O / BROOKS / 2500 / 1-888-558-FLOW
N2O / BROOKS / 1500 / 1-888-559-FLOW
O2 / BROOKS / 30000 / 1-888-560-FLOW
NF3 / BROOKS / 1000 and 10000 / 1-888-561-FLOW
N2 / BROOKS / 10000 / 1-888-562-FLOW
Ar / BROOKS / 10000 / 1-888-563-FLOW
Pressure control:
Chamber 627A11TBC, 10T (P/N: 27-10343-00)
Loadlock 750B11BTCE2GK, 10T (P/N: 27-126062-00)
Manifold A filter MPUJ180 (P/N: 22-169887-00)
Manifold B filter GLFPF3000VMM4 (P/N: 22-00006-00)
RPC Isolation valve
RPS AX7645RH-01AX7645 (P/N: 27-282770-00, 27-277368-00)
Detector
Main A valve SWAGELOK (P/N: 22-043786-00)
Main B valve SWAGELOK (P/N: 22-295147-00)
Valve:
Pendulum valve (P/N: 63-323815-00)
Loadlock isolate valve XLA-25-M9
Slit valve door XGT300-30-1A-32 (P/N: 60-251903-00)
VAT Door 07512-UA24-0002 (P/N: 60-123331-00)
RF Related:
HF Generator APEX 5513 (P/N: 27-284656-00) 13.56 MHz
HF Match ADVANCED ENERGY Navigator-10013 (P/N: 27-296376-00)
LF Generator 350-450 kHz
LF Match LFMN8/5 (P/N:27-295862-00)
RF Distribution board (P/N: 02-307707-00)
SHD Distribution board (P/N: 02-280915-00)
Temperature control:
WATLOW PYLM-C005-0727
Temperature controller 20-1000500-409N008-1
Water switch 50-3NB-AAJ6
PED1 S1-1324-112N003
PED2
PED3
PED4
Wafer handler:
Load port FIXLOAD TM 6M (P/N: 63-292227-00)
FI Robot BROOKS ATR8 (P/N: 121669)
LTM Robot (P/N: 15-256077-01 REV A)
Load lock pedestal
PED1 Lift pin actuator
Spindle C-2030D010299-0608 (P/N: 02-275637-00)
Pedestal MCA ball
Pedestal MCA PIN
LL Pedestal actuator
Carrier ring
System control:
System controller MC3
Motion controller MC3
Missing parts:
Loadlock pump
Isolation
Coolpad
Coolpad actuator.
NOVELLUS Concept 3 Vector Express是一种单晶片批量型化学气相沉积（CVD）反应器，旨在为半导体器件材料提供精确、可重复的薄膜沉积。该反应堆能够沉积各种各样的材料，包括氧化物、氮化物、金属和电介质，是生产现代高性能装置的理想选择。Concept 3 Vector Express基于两个相互连接的化学气相沉积（CVD）腔室，每个腔室都有自己的加热器和敏感器。感光器可以单独和独立地在加热区之间移动，从而提供一个可调的过程窗口。Vector Express还可以包含最多三个前体，可以注入腔室以沉积不同的层，全部采用单一工艺。NOVELLUS Concept 3 Vector Express还能够超过1.3纳米均匀度的氧化物、氮化物和嵌入式栅极结构，使得下一代超小型晶体管和高性能半导体器件的生产成为可能。该设备采用高传动、X射线质量增强设计,提供卓越的氧化物压实和薄膜厚度均匀性,并提高关键部件的使用寿命。Concept 3 Vector Express还包括多项安全功能，提供操作员和系统保护。例如,一个独特的"慢跑"功能允许从设备的编程门户中快速选择不同的流程配方,并提供一系列流程选项。此外，机器的自调晶圆尺寸可以补偿基板尺寸或形状的变化，减少变异性。最后,Vector Express具有自我诊断功能,可以识别流程数据中的细微之处,并在流程超出规格之前采取纠正措施。这提高了流程的可重复性和可靠性,最终提高了产量。总之，NOVELLUS Concept 3 Vector Express是用于实现先进半导体器件工艺的最先进的CVD反应堆。Vector Express具有精确的可编程磁化器、高精度X射线质量元件和独特的慢跑功能,专为高效生产当今最小、最可靠和性能最高的半导体器件而设计。
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