二手 NOVELLUS CONCEPT 3 Vector #9169845 待售

NOVELLUS CONCEPT 3 Vector是一种多轴化学气相沉积（MPCVD）反应器，设计用于复杂纳米结构的沉积。它非常适合要求更高材料均匀性和保形性的先进材料和设备应用。Vector包括两个独立控制的独立轴,以确保将相同的工艺条件应用于较大的基板。双轴方法可确保整个基板上的蚀刻过程均匀一致,从而产生均匀的一致性和理想的电气、光学或机械特性。向量的核心是它的腔室和两轴线性传递系统。腔室由压力控制，温度通过加热元件和卡盘温度传感器控制。传输系统包括一对直线电动机，连同一个平移级，以极高的精度精确定位和移动晶圆在三个轴上。在燃烧室内，反应堆和气团协同工作，提供高精度的溅射和蚀刻工艺。在聚氯乙烯中，等离子体用于在所加工的目标材料上产生放电。这种放电用于从目标材料中蒸发材料，然后将其沉积在所需的基板上。在蚀刻过程中，气体被引入腔室，与目标材料发生反应，在基板上形成薄薄的保护层或蚀刻图样。Vector还包括多个加工工具，如腔室衬里和加工罩，为蚀刻过程提供额外的均匀性和保形性。这些加工工具还可以防止室内的污染，并允许快速热循环。Vector的设计允许高重复性、低缺陷级别、兼容MEMS处理和生物兼容性。其高分辨率、低缺陷成像系统允许过程监控。Vector提供快速的热循环,并在整个过程中保持高一致性,同时保持较低的总拥有成本。