二手 NOVELLUS CONCEPT 3 Vector #9191085 待售

NOVELLUS CONCEPT 3 Vector是一种用于化学气相沉积（CVD）应用的高性能沉积反应器。它具有多个集成的过程腔室，能够实现低压化学蒸气渗透（CVI）、高压CVD、原子层沉积（ALD）和等离子体增强CVD（PECVD）。该矢量利用闭环共振控制的基板加热器，以确保沉积过程中基板的热性能高度均匀。Vector配有可编程的气体分配板，可提供最大的灵活性，确保准确和精确地输送反应物气体。其气体分配板包含气体开关阀，设计用于快速关闭废反应物气体，并根据需要替换为新鲜的反应物气体，从而减少废气外流并提高工艺产量。此外,Vector还具有可配置的自动喷射系统和热灯丝发射器,从而可以错综复杂地控制沉积室中存在的反应性物质,从而更好地控制沉积过程。Vector还设计用于超高温，实现金属有机化学气相沉积（MOCVD）和有机化学气相沉积（OCVD）等高性能应用。它的闭环、空心圆锥形crucible设计创造了一个独特的溷合和化学转移环境，允许改进反应性控制和更好的过程监测和控制。矢量还具有先进的温度控制系统，以确保沉积室内的温度控制和均匀性。其专有的热管理系统包括热区及其内部部件之间的多层隔热,从而在整个基板表面提供均匀的温度分布。这种先进的热管理系统,加上Vector的高性能硬件,在沉积过程中提供了出色的可重复性和统一性。CONCEPT 3 Vector是CVD应用的绝佳工具，提供了高度精确的温度控制、均匀性和可重复性。它非常适合于诸如MOCVD和OCVD等复杂的工艺，允许卓越的热性能和广泛的反应物气体。