二手 NOVELLUS CONCEPT 3 Vector #9281484 待售

NOVELLUS CONCEPT 3 Vector是一种单晶片化学气相沉积（CVD）反应器设备，设计用于先进的金属沉积过程。它采用三区设计，包括预热室、沉积室和冷却区。预热室能够在热带很小的情况下倾斜到450°C的温度，从而对各种晶圆表面进行预处理。沉积室具有独特的平行板结构，具有两个独立操作的等离子体室，可实现源气体的低温控制和更好的沉积均匀性。冷却区允许晶片快速冷却，并包括一个用于快速晶片分析的自动QC端口。CONCEPT 3 Vector的设计考虑了高吞吐量，其MOVe GAP晶片处理系统针对快速晶片处理进行了优化。它具有许多有助于提高均匀性、最小化晶片间距和最小化晶片应力的功能。此外，Vector还配备了一系列溅射和电化学加工工具，如倾斜角度溅射旋转木马、用于增强透晶片均匀性的旋转基座以及用于倾斜旋转木马的单元，以实现最佳的站对站均匀性。该机还设计有薄膜密封杯等功能，以减少金属污染，以及用于工艺优化的自动化联锁工具。Vector的过程控制由NOVELLUS专有SenPlace™软件启用,该软件是一个利用高级过程监视、控制和优化技术的平台。SenPlace允许用户实时监控各种工艺参数，即时调整工艺配方，确保整个晶圆表面的均匀性。它还提供了各种警报和安全功能,以确保在没有任何意外结果的情况下执行过程。总体而言，NOVELLUS CONCEPT 3 Vector是一种先进且用途广泛的单晶圆沉积资产，其设计考虑了吞吐量和均匀性。适用于各种沉积过程，包括低温CVD、氮化铝、氮化钛、钨等。