二手 NOVELLUS CONCEPT 3 #293644792 待售
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NOVELLUS CONCEPT 3反应器是一种用于半导体制造的化学气相沉积（CVD）工具。它具有高纯度的气体环境，能够生产先进、高性能的半导体材料。CONCEPT 3反应堆利用先进的专有设计为用户实现最佳性能.NOVELLUS CONCEPT 3反应器的整体设计由一个容纳各种气体化学过程的腔室组成。在中央腔室的两侧有两个腔室，有一个通气室和歧管连接腔室。扩散室也与中心室相连，使化学物质在过程中得以分散。所有腔室组件协同工作，为复杂的项目创造最佳的工艺条件。CONCEPT 3反应堆的气体入口歧管能够高效地输送多达三种不同的化学物质，同时仍能提供一致水平的工艺控制。设备可以自动准确地调节化学物质的流动和腔室内的压力，确保达到预期的效果。气体一旦输送到腔室，就用辐射加热元件加热，使化学反应开始。整个过程得到位于腔室壁上的一些工具的促进，包括传感器、加热器等。随着过程的进行，室内的各种探测器监测温度和流量，始终确保过程运行平稳。一旦达到所需的结果，高反应性副产品组件就会通过使用排气系统迅速高效地从腔室中移除。该排气装置由洗涤器、加力燃烧器、高效过滤器和化学密封器组成，所有这些装置共同确保安全和清洁的工作环境。NOVELLUS CONCEPT 3反应堆是一种可靠而强大的CVD工具，旨在为半导体行业创造高性能材料。它提供自动化的过程控制、高效的气体输送以及安全、清洁的排气机，使其成为具有长期可靠性的经济高效的工具。
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