二手 NOVELLUS CONCEPT 3 #293644796 待售
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NOVELLUS CONCEPT 3是一种先进的平面角PECVD（等离子体增强化学气相沉积）反应器，旨在提供卓越的薄膜沉积性能。该系统针对氮化硅、氧化硅和氧化硅的超细沉积和改性进行了优化，具有良好的均匀性和薄膜质量。凭借独特的双频兼容性，CONCEPT 3实现了更好的粒子密度控制和优于传统系统的薄膜性能。NOVELLUS CONCEPT 3反应堆由先进的多频PECVD工艺室和射频匹配网络组成。射频匹配网络设计为在发电机和工艺室之间提供最优阻抗匹配，可同时调节并联和串联谐振以及低频和高频。此RF匹配网络设计除了消除热点和定制阻抗以提高流程一致性和可重复性之外,还提高了电源效率并降低了拥有成本。CONCEPT 3的工艺室配备了高密度射频发生器和双频激发系统，同时产生低频和高频波。这有助于保持过程等离子体的完整性，同时推动基板表面快速均匀的薄膜生长。这种双频排列也有助于降低外部蚀刻速率，防止在反应性离子蚀刻（RIE）步骤中释放出不想要的颗粒。自给自足的PECVD系统和专门设计的符合代码要求的工艺室经过严格的可靠性和寿命测试。强健的设计可确保各种工业过程和应用程序的最佳性能。NOVELLUS CONCEPT 3还具有触摸屏群集控制、基于Web的应用程序管理以及强大的诊断和配方跟踪功能。总体而言,CONCEPT 3是市场上最先进的PECVD系统之一,提供卓越的过程控制、可重复的性能和高效的薄膜沉积。它是各种沉积过程的理想选择，如薄膜沉积、硬掩模沉积、图样化和金属/介电层形成。它结合了强大的功能、先进的技术和用户友好的设计,使NOVELLUS CONCEPT 3成为任何现代制造环境的可靠高效的PECVD解决方桉。
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