二手 NOVELLUS CONCEPT One-150 #293758274 待售

NOVELLUS CONCEPT One-150是一种中型气相等离子体化学气相沉积（CVD）设备，用于半导体工业。该反应堆具有先进的设计和坚固的结构，以实现高性能的过程结果。该One-150确实是一个用于沉积应用的通用平台，利用先进的设计特点和智能工艺控制，以高选择性的方式支持各种工艺化学。反应堆配有1300 W高频电源，能够达到40 mTorr以下压力的真空系统，以及可处理多达10种气体的NOVELLUS ALC气体歧管。它还拥有数量惊人的工艺传感器（温度、压力和晶圆温度）和反馈回路,以实现对工艺参数的精细控制。该One-150还配备了区域温度控制、令人印象深刻的静电卡盘能力以及配备冷冻泵的泵包，为CVD单元提供了最大的工艺窗口。反应堆具有灵活的四区结构，两个中心工艺区控制温度。这种方法旨在确保精确的过程控制,允许严格的过程结果。这些区域都针对高生产率的CVD处理进行了优化,具有精确的温度设定点、冷却时间、目标温度以及对沉积速率的精确控制。该One-150还配备了先进的工艺控制软件。这样可以确保整个晶片的精确保形膜厚度,在客户设定的公差范围内具有高度均匀的膜性能和出色的均匀性。该软件具有精密的参数控制，能够优化各种工艺化学的工艺条件。它还包括一个综合的流程配方数据库，有助于通过受控和可复制的流程确保可重复性。总之，NOVELLUS CONCEPT ONE 150是一款功能强大的CVD机器，旨在满足半导体行业的苛刻需求。凭借其先进的设计和坚固的构造，它支持广泛的工艺化学，以提供高性能的工艺结果。其精密的工艺控制软件可实现精确的保形膜沉积，在整个晶片上具有极好的均匀性。总而言之，One-150是一台可靠且功能强大的机器，一定会成为任何半导体加工设施中的宝贵资产。