二手 NOVELLUS CONCEPT One-150 #293807073 待售

NOVELLUS CONCEPT One-150是由NOVELLUS Systems Inc开发制造的单室化学气相沉积（CVD）工具。它是一种高度自动化的工具，能够以受控、均匀的方式沉积薄膜。NOVELLUS CONCEPT ONE 150以一个固定体积150立方厘米（cc）的矩形反应室为特色。腔室也进行绝缘，以保持热稳定性。该工具还包括集成惰性气体和化学蒸汽注入以及现场压力测量。这提供了精确控制沉积过程参数如压力、温度和反应物浓度的能力。为了使腔室加热冷却，机器装有石英电阻加热器和液氮传热块。机器被封装在先进的多区温度控制器中，它允许独立的区域加热和冷却，以及严密的温度控制。CONCEPT ONE-150是一个由可编程中央处理器（CPU）控制的基准CVD系统。它能够进行一些预先编程的应用，如化学气相沉积、热处理和循环。反应器允许沉积多种薄膜，包括氟化多晶硅和氮化硅。它也用于覆盖晶片与金属、合金、电介质和绝缘体的小颗粒。NOVELLUS CONCEPT ONE-150具有保持低过程漂移和执行长期运行的能力,非常适合批量生产。它设计用于最低限度的维护和较高的正常运行时间,以降低运营成本。该工具非常可靠，操作和调整简单，具有非常坚固和可重复的沉积平台。