二手 NOVELLUS CONCEPT One-150 #293813033 待售
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NOVELLUS CONCEPT One-150是一种用于先进半导体加工的高性能反应堆。利用化学气相沉积（CVD）或原子层沉积（ALD）工艺,NOVELLUS CONCEPT ONE 150可用于将薄膜沉积在基材上和基材内。它与各种工艺气体、基材和排放控制系统相结合，使其成为制造纳米级结构的通用和适应性工具。CONCEPT ONE-150是基于耐用和久经考验的XeF2反应器设计,可确保各种薄膜沉积应用的可靠、可重复的处理。反应室本身由以下组件组成：腔室、盖子组件、源隔室、电源、气体分配器和输送系统、气体排气口、样品端口和工艺腔室。所有这些组件都可以定制,以提高沉积速率和加快材料增长。CONCEPT One-150能够以150 x 10-6 Torr的最高速度沉积反应物，从而能够更快地制造设备并提高吞吐量。此外，还支持无氢沉积工艺，这为先进的半导体设计提供了经济高效的出口。NOVELLUS CONCEPT ONE-150设计为易于使用和维护,具有可选的计算机自动化和易于理解的人机界面。它还配备了可编程泄漏测试、自调整调谐范围等全面的最先进的诊断，确保始终保持最佳状态。CONCEPT ONE 150还附带了多种安全协议，以保护人员和财产，包括先进的灭火、真空电平控制、自动关闭和压力控制系统。总体而言，NOVELLUS CONCEPT One-150提供了一种用途广泛且可靠的单片反应器，能够生产出均匀且无缺陷的薄膜。对于要求高精度、高速度、高可重复性的先进半导体处理应用来说，它是一个理想的解决方桉。
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