二手 NOVELLUS CONCEPT One-150 #9248601 待售

NOVELLUS CONCEPT One-150是一种适合研发的单室、批处理型CVD/ALD（化学气相沉积/原子层沉积）反应器，以及全方位的先进半导体器件制造工艺。该One-150设计紧凑,可集成到手动处理系统和自动化群集工具中。反应堆室内衬SUS316不锈钢，并提供额外的轻质铝合金盖。腔室尺寸为150毫米（Ø）x 150毫米深，最多可容纳30个直径6英寸（200毫米）的晶圆或12个直径4英寸（100毫米）的晶圆。它配有一个封闭的射频加热设备，允许均匀的温度达到大气压或更低。有一个燃料气流系统支持广泛的气体，包括氧化剂、还原剂、氮化物和氟化物，特殊的腔室可以处理极具反应性的材料。反应堆配有低负载静电卡盘（ESC），每批最多可容纳六个晶片。ESC也很容易自动化,可以配置为手动或集成到群集工具中。该源设计为允许从同一反应堆调度源，允许多种前体。控制单元包括对ESC电网电压的精细控制和所有关键参数的实时显示。高压气体输送机允许压力快速变化，允许短处理运行。反应堆还提供可控的沉积速率和温度，以及可调的总工艺时间。该One-150允许先进的多技术处理能力，同时进行退火、氧化、沉积和蚀刻。它还可以支持更复杂的过程，如大气和串联沉积、蚀刻、氧化、蚀刻、沉积和纳米技术应用。此外，它的设计还便于融入集群系统。综上所述，NOVELLUS CONCEPT ONE 150是一种高效、紧凑的CVD/ALD反应堆，具有先进的多技术处理能力和与集群系统的轻松集成。对沉积速率和温度的粒度控制，可靠的射频加热工具，以及精密的燃气流设计，使得这一资产既适合研发，也适合全面的设备制造过程。