二手 NOVELLUS CONCEPT One-150 #9248603 待售

NOVELLUS CONCEPT One-150是一种化学气相沉积（CVD）反应器，设计用于先进的半导体制造。它提供材料的精密加工，如多晶硅、氧化硅和氮化铝钛（AlTiN）薄膜。NOVELLUS CONCEPT ONE 150通过优化的源传递和控制，能够沉积厚度分辨率低至4纳米的精密均匀层。它为大规模和小规模生产提供了一致的、可重复的结果。CONCEPT ONE-150专为提高生产率而设计，并与各种n型和p型硅基板兼容。它的专有源输送设备可确保源源不断地输送化学品，而不会泄漏或不希望得到的杂质。化学物质的输送也受到系统的精确控制，使均匀性低于± 2%的一致层得以实现。CONCEPT One-150的反应室设计用于源气体的严格控制和高效溷合，从而实现高效反应和提高膜质量。NOVELLUS CONCEPT ONE-150中的反应是用先进的软件控制的.它具有一套强大的过程控制功能,允许实时控制、数据收集和分析。CONCEPT ONE 150的显示单元是为直观操作而设计的，允许操作员快速访问和解释维护所需流程所需的信息。高级诊断,包括反应室的在线视频,可提供详细的性能分析。该机器还设计有超压保护、环境监测系统和主动臭氧监测等安全特性。NOVELLUS CONCEPT One-150提供了处理亚纳米尺寸层的功能,从而能够制造先进的半导体器件。它已成功地用于各种CVD应用中，例如用于先进VLSI工艺的氮化铝闸门的沉积。该工具提高了流程优化和吞吐量的可重复性,从而实现了更快、更可靠的生产。NOVELLUS CONCEPT ONE 150是先进半导体製造的尖端CVD技术范例。