二手 NOVELLUS CONCEPT One-150 #9250099 待售

NOVELLUS CONCEPT One-150是一个单晶圆化学气相沉积（CVD）反应器。设计用于各种介质和导电材料在精确控制条件下沉积在基板上。反应堆采用单晶片负载锁、淋浴头分发器、排气歧管、两个射频源和射频驱动的涡轮机。单片负载锁使NOVELLUS CONCEPT ONE 150一次可以处理一个基板。该系统采用快速更换衬里设计，使工艺室可以根据需要快速转换为新配方。负载锁还配有炉子，以便在开始沉积之前对基板进行受控热烘烤。此外，一个先进的泵控制系统可确保在最后的基板加载之前将腔室精确地保持在大气压下。接下来，淋浴头分销商将工艺气体均匀地分布在晶片表面上，以确保膜沉积均匀。这种精确分布是通过使用三个独立的流动路径来实现的，每个路径都有30个独立的出口端口。双荒地射频源和涡轮机加强了流量控制，以更高的流量创造更均匀的分布。初始分配后，气体由两级排气系统从反应堆中除去。第一阶段确保气体从基板上快速抽出并从腔室排出。第二阶段使用回收残留污染物的再循环室进行进一步分析。最后，射频（RF）驱动的涡轮在反应堆内部产生交替磁场和电场。这种交替场允许电子振荡，创造出一种高能状态，非常适合将原子从气源镀到基板上。最后，CONCEPT ONE-150是一种多用途的单晶圆CVD反应器，设计用于各种材料的精确沉积。它具有单晶片负载锁、淋浴头分销商、排气歧管、两个射频源和一个射频驱动的涡轮机。这些组分协同工作，形成完全均匀的沉积，污染最小，工艺速度更快。