二手 NOVELLUS CONCEPT One-150 #9250100 待售

NOVELLUS CONCEPT One-150（C1-150）是一个立式CVD反应堆，专为大批量生产和高吞吐量而设计。该C1-150具有灵活性和可靠性,具有可配置的自动化、可定制的过程参数以及简化的设计。该C1-150采用坚固的结构和重型部件,可承受高达20 Torr （2.7 kPa）的极端压力和高达2000 °C的温度。该C1-150有一个可变、垂直、低压的反应堆室，装有综合抽水设备、高性能热监测系统和低温保存装置。它能够容纳三个沉积源，包括液体、气体和气相环境，一次最多可运行14小时。该C1-150提供四种可用容量：PAD（平面阵列沉积），21英寸晶圆容量；COP（闭环氧化物加工），200微米厚度容量；介电蚀刻，10微米深度容量；以及1微米深度容量的Metal Etch。该C1-150配备了SCADA（监督控制和数据采集）机，允许用户控制工具，实时监控有用的过程参数，并集成到现有系统中。该C1-150还安装了全自动源体系结构，用于优化过程控制，能够自我补偿以保持过程的稳定性。它具有先进的控制资产,可提供可配置的参数数组,并可以安全地存储多达99种配方的数据。该C1-150专为洁净室制造而设计,具有受控的压力和温度操作环境,可确保顶级工艺的稳定性。它提供了可配置的安全功能,如减压阀、温度保护机制和数字温度控制器。该C1-150还装有颗粒洗涤模型、电离氧气清洗设备、臭氧注入系统和HEPA过滤器。其先进的安全系统，加上集成的流程配方库，允许用户定制C1-150以满足其特定需求。