二手 NOVELLUS CONCEPT One-150 #9311436 待售

NOVELLUS CONCEPT One-150是业界领先的超低压反应堆，专门研究CVD和MVG型工艺。它提供了卓越的控制和条件可重复性,并提供了一整套工艺选项,可实现高级生产。该反应堆设计用于试验规模和生产规模的制造应用。NOVELLUS CONCEPT ONE 150以聚合物衬里的腔室为特色，容积可达150升。它还提供了全方位的过程控制参数，包括压力、温度和气流。该设备配置了最多两个加热和冷却的工艺线圈、一个清扫过滤系统和一个既满足工艺要求又满足安全要求的柔性压力平台。此外,该单元还包括一系列高级诊断功能、集成计量工具和产品质量实时分析。CONCEPT ONE-150易于利用,可用于处理多种材料,包括Si、Ta、Al和Ni。各种过程可以并行运行，如沉积、氧化、溅射和化学蚀刻。电容耦合等离子体（CCP）和电感耦合等离子体（ICP）等先进工艺也是可能的。机器有一个可编程逻辑控制器（PLC），允许简单的过程控制和监控。它还配备了广泛的先进数据采集工具，包括光学显微镜、FTIR光谱和残留气体分析（RGA）。这些工具有助于监测和验证工艺条件。CONCEPT ONE 150是确保流程性能高质量和可重复性的强大而可靠的工具。该工具具有广泛的工艺选择和集成监控工具，非常适合大规模生产集成电路和其他微电子设备。