二手 NOVELLUS CONCEPT One-200 #9171331 待售

NOVELLUS CONCEPT One-200是一个先进的多功能蚀刻反应堆，设计用于融入半导体制造厂。该设备能够实现深度、超低温的蚀刻工艺，具有很高的精度和可重复性，非常适合高精度和高批量生产。该系统的核心是一个感应耦合等离子体蚀刻装置，能够产生高达10,000摄氏度的温度。该等离子体用于在晶圆上创建微尺度结构，宽度小于1 μ m。此精度允许精确控制蚀刻工艺参数、降低成本、提高产量和提高产品质量。该机还采用了能够在蚀刻过程中精确操作晶片的机器人端效应器，以及一种专利晶片旋转工具，可最大限度地减少对小特征的损害。一套自动化软件允许一致且可重复的过程控制,使资产能够在一次运行中精确蚀刻多个设备。CONCEPT One-200还包括一些旨在提高模型效率和吞吐量的功能。该设备采用多步蚀刻工艺最大限度地减少晶片磨损，并采用了一种算法，可实现精确、自动化的晶片定位和高精度蚀刻运动。NOVELLUS CONCEPT One-200的设计具有高度的适应性和用户友好性,允许广泛的应用和集成到现有的半导体制造系列中。其坚固的模块化结构使其易于安装和维护,并且其可扩展的系统体系结构允许根据需要进行升级和定制。总体而言，CONCEPT One-200是一种先进的蚀刻反应器，设计用于高精度、高通量和精确、可重复蚀刻。凭借其可靠灵活的设计，它是寻求最大限度提高生产质量的半导体制造商的理想解决方桉。