二手 NOVELLUS CONCEPT One-200 #9284358 待售

NOVELLUS CONCEPT One-200是针对半导体生产市场的高生产率PECVD（等离子体增强型化学气相沉积）反应器。与传统的PECVD相比，它采用了获得专利的等离子体源来生产更好的薄膜均匀性。这是通过利用对称双淋浴电极设计实现的，该设计将等离子体均匀地分布在反应室内。这种高效的等离子体分布允许更高的沉积速率，典型的纳米薄膜厚度从10Å到10,000Å一次运行，同时提供高质量的保形涂层。CONCEPT One-200配备了先进的腔室设计，允许最大限度的基板进入和过程的均匀性。该室具有一个大的矩形射频电极，它与四个高频淋浴头电极一起，创建一个电场均匀分布等离子体。一个维护友好的密封室设计也可以方便室内清洁。NOVELLUS CONCEPT One-200的先进功能超越了等离子增强设备的优势。它设计为高度用户友好，具有直观的控制和模块化设计，使用户能够定制反应堆以满足他们的应用需求。该系统还提供了广泛的功率控制功能阵列，允许根据用户要求形成最佳介电层。此外,CONCEPT One-200极其可靠,制造商提供一百万个沉积周期的性能保修。这样可以确保客户获得最可靠、最高效的系统生产。NOVELLUS CONCEPT One-200为半导体生产应用提供了强大而高效的解决方桉,增强了对沉积过程的控制,提高了均匀性,并提高了吞吐量。简而言之，CONCEPT One-200是任何半导体生产实验室的宝贵工具，以经济的价格提供卓越的质量和性能。