二手 NOVELLUS CONCEPT One C1-150 #9171330 待售

NOVELLUS CONCEPT One C1-150是用于半导体工业的三区水平反应堆设计。该反应器利用先进的工艺控制技术，实现了最优的沉积均匀性和可重复性。监测各种工艺参数，如功率、气流和压力测量，以确保适当的薄膜质量。反应器室由前到后分为三个独立的区域：预热区、反应区和冷却区。每个区都有自己的淋浴头、温度和气流。冷热气体供应按顺序送入腔室，以便对大气参数和过程定时进行精确控制。气体流动在这些区域之间是平衡的，以达到所需的气体压力、速度、空间上均匀的反应物浓度以及整个腔室的均匀温度分布。基板在负载锁定模块上通过腔室移动。负载锁定模块的设计目的是将压力保持在反应堆内的特定水平，从而使材料能够安全地从腔室转移到沉积区域而不会通风。预热区确保底物在进入反应区前处于所需温度。可以操纵反应区来控制淋浴头内的温度、气流和压力。当反应物在底物表面发生化学反应，反应物沉积厚度通过时间和功率控制来控制时，沉积就发生在这里。冷却区用于在离开反应室前将底物冷却至所需温度。CONCEPT One C1-150反应堆是一个先进的系统，可以灵活和精确地控制沉积温度、压力、流量和反应物浓度。这使得它非常适合用于半导体应用的溅射和保形膜沉积。该C1-150被批准用于多种材料，包括金、钴、氮化钛、的。它具有精确的工艺控制和均匀性，是工业工艺的绝佳选择。