二手 NOVELLUS CONCEPT One C1-D #9135536 待售

NOVELLUS CONCEPT One C1-D是NOVELLUS Systems为高级沉积和蚀刻应用设计的下一代高性能反应堆。它提高了生产率和优越的工艺性能，使关键微电子元件的制造更加快速高效。反应堆的设计基于这样的概念，即可以针对电化学沉积、化学气相沉积（CVD）或等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）工艺的具体工艺需求进行量身定制。为了适应这种灵活性，反应堆采用模块化方法建造。这允许用户根据应用程序的特定要求自定义硬件和流程参数。反应堆采用优化节能设计，包括几项创新技术，包括独特的Thruster Drive Mechanism、闭环压力控制设备、可调温度轮廓、工艺实时监控等。推进器驱动机构允许以较低的能耗水平进行一致的晶圆传输和处理。闭环压力控制系统有助于实现更大的过程均匀性和重复性，同时通过实现精确的过程调整来降低能耗。可调整的温度曲线允许通过增加均匀性来提高工艺速度,同时还可以降低能耗。最后，可以使用车载实时监控单元监控流程参数，帮助确保最佳流程控制。CONCEPT One C1-D是为了与工业标准晶圆尺寸和电容耦合等离子体（CCP）技术兼容而设计的。该腔室还配备了独特的水冷射频源，无需大型外部冷却机，同时还提供了高工艺均匀性和重复性。此外，该室还集成了先进的自动化工具，用于快速晶圆交换、均匀的电磁场和故障检测。总体而言，NOVELLUS CONCEPT One C1-D是一种革命性的高性能反应堆，旨在满足先进沉积和蚀刻应用的苛刻规格。它提供了改进的工艺性能、优化的节能设计和扩展的功能,以帮助简化关键微电子元件的制造。