二手 NOVELLUS Concept One-W #293690378 待售

NOVELLUS Concept One-W是一种单晶圆反应堆设备，设计用于在广泛的材料沉积过程中提供极好的均匀性。NOVELLUS CONCEPT ONE W反应堆结合了多种先进特性，在先进材料的生产上提供了卓越的工艺一致性、设备性能和成本效益。该系统配备了先进的自动运动控制单元，减少了等离子体的不均匀性，并能够优化使用更复杂的反应室几何形状。反应堆的多个过程的顺序和操作都是自动和精确的控制，允许最少的用户干预。概念一W反应堆由几个关键部件组成。其基板支架能够处理直径达300毫米的晶片尺寸，并包含一个独立的晶片加热器，用于快速制备晶片。等离子体源被设计成在整个过程腔内均匀地创建一个等离子体，用于创建沉积过程中使用的反应性气体。磁耦合冷壁可确保彻底清除腔室中的所有反应性材料,从而延长运行时间并提高等离子体均匀性。CONCEPT ONE W反应堆还具有许多其他先进的功能，以实现准确和可重复的材料沉积过程。它的Gas Delivery机器接受多达10种不同的气体进行试验，并且可以测量过程前体并流向反应室。扫描晶片级非常精确地扫描基板，从而使材料精确地放置在晶片上。Multi-Zone RF/DC过程控制器为不同的图形显示库提供了广泛的输入能力,从而实现了优化的过程配方。NOVELLUS Concept One-W还提供沉积均匀性、压力、温度和晶圆地形的实时监控,以实现准确的过程故障排除和调整。NOVELLUS CONCEPT ONE W是一种先进的单晶圆反应器工具，旨在在材料沉积过程中提供卓越的均匀性和性能。其自动化的运动控制资产、磁耦合冷墙、可定制的气体输送模型、扫描晶片级以及多区射频/直流工艺控制器，使Concept One-W成为生产先进材料的通用、经济高效的解决方桉。