二手 NOVELLUS CONCEPT One #188571 待售

NOVELLUS CONCEPT One
製造商
NOVELLUS
模型
CONCEPT One
ID: 188571
晶圆大小: 8"
PECVD system, 8".
NOVELLUS CONCEPT One是一款革命性的工具,旨在提供可靠、高性能的薄膜沉积。它是一个多合一的轻质反作用室,提供高真空性能,高达2毫巴,以及对工艺条件和涂层参数的精确控制。整个反应堆建立在不锈钢框架上,设计目的是实现低拥有成本和最大正常运行时间,同时提供无与伦比的性能。NOVELLUS CONCEPT ONE利用经过验证的脉冲星系统,先进沉积技术的行业标准,精确控制反应物和产品的流动。精密控制过程沉积速率、时间和温度的能力为薄膜沉积提供了无与伦比的精度和均匀性。CONCEPT One还有一个轻巧的机械臂,支持反应前和反应中各种底物的对准。机械臂能够使中间层对准和加载,以及更严格地控制基材的位置精度。这使得它非常适合高附加值产品的制造。CONCEPT ONE利用垂直热蒸发源进行过程控制,其中包括:射频(1-200 MHz)、直流磁控管、直流偏置和电子束。利用这种蒸发源组合,沉积速率可以保持一致,工艺参数可以根据需要进行微调。由于其简单的设计和尺寸,NOVELLUS CONCEPT One允许在任何环境中轻松安装和设置。它还易于与现有设备和系统集成,从而提高生产率、降低成本和最大限度地减少停机时间。总体而言,NOVELLUS CONCEPT ONE是当今市场上最先进、生产力最高的反应堆之一。CONCEPT One通过将最新的薄膜沉积技术与多合一设计相结合,以较低的拥有成本提供了广泛的高质量工艺控制和涂层。
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