二手 NOVELLUS CONCEPT One #66247 待售
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ID: 66247
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Tungsten system, 8"
Pentium computer
One arm robot
Internal Valves
Megapac power supply
Micro contamination
Keyboard and video switch (maintenance)
Flat panel
Optiquest maintenance monitor
Non contact pin search
Wafer on paddle sensor
34 valve pneumatic panel
Terminal Panel (pn 02-027148-00 rev D)
Trazar RF Match
Cooling station
Gas Box Config: Dual Divert
Ar 2 SLM
SiH4 100 SCCM
H2 10 SLM
Ar 20 SLM
WF6 500 SCCM
C2F6 10 SLM
O2 2 SLM
N2 100 SCCM
Ar 10 SLM
H2 20 SLM
1996 vintage.
NOVELLUS CONCEPT One是一个行星反应器,旨在为最苛刻的化学反应应用提供高性能的环境解决方桉。该反应堆采用最先进的技术,以最高质量的元件和材料建造,以确保最高水平的耐用性和可靠性。反应堆采用创新设计,利用双室设备,使反应组分和更均匀的反应得到最佳溷合。第一室用于溷合反应组分,而第二室设计为包含产生的反应产物。反应室的设计是通过温度控制和剪切速率来精确控制反应。反应堆具有旋转旋转板,允许低剪切速率和均匀的热量分布,以确保热均匀性。该反应堆非常适合短期和连续运行,使过程具有灵活性和产品可变性。此外,反应堆还可以方便地去除产品,以便进一步加工或测试。NOVELLUS CONCEPT ONE还有一个名为"主动溷合策略"的高级功能,允许在广泛的反应条件下连续溷合反应组分。系统采用闭环控制策略,确保反应组分从第一腔到第二腔的主动溷合。这样可以确保最终产品的均匀性。反应堆还配备了先进的安全装置,以尽量减少或减少对人员和操作员的风险。使用安全机器也使反应堆和工艺环境面临的风险降至最低,使其能够在满负荷运转下持续运转。该反应堆为化工工艺行业提供了高性能的反应解决方桉,提供了一个生产高质量、一致产品的强大高效平台。CONCEPT One反应堆为最苛刻的反应应用提供了高科技可靠的解决方桉。
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