二手 NOVELLUS CONCEPT One #73827 待售
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ID: 73827
PECVD system, 5"
Main body
Booster pump
Reacor dry pump
LL pump
Scrubber
Generator
Power requirements
De-installed
1994 vintage.
NOVELLUS CONCEPT One是为先进微电子市场而设计的高生产力、晶圆处理反应堆。它是同类中性能最高、最可靠和最灵活的反应堆之一,能够提供可定制的工艺浓度和温度。它配备了专利的NOVELLUS Drive设备、专利的NOVELLUS雾化系统和NOVELLUS Controlled Cooling单元,使其成为需要高性能和性价比晶片处理的制造商的理想选择。NOVELLUS Drive Machine (NDS)是一项先进的技术,能够提供精确、稳定和可重复的工艺条件,以实现最高的生产率和产品质量。它采用了一种创新的电机、电机驱动轴和数字编码器,以高精度跟踪轴的运动。这提供了最佳高能过程所需的高水平控制,并且比常规反应堆的过程稳定性提高了45%。NOVELLUS雾化工具(NAS)结合了高效雾化和精确的过程控制。NAS允许用户控制能效、过程温度和浓度,它旨在提供定制的过程以满足特定需求。NOVELLUS受控冷却(NCC)资产旨在帮助降低与冷却相关的成本,并通过在过程停止前将晶片均匀冷却到安全温度来保持产品质量。它使用先进的线性驱动电动机来精确调节工艺温度,提高冷却速率,减少热梯度应力,并在整个晶片中创造均匀的温度。NOVELLUS CONCEPT ONE反应堆是寻求在微电子行业取得优势的厂商高效可靠的选择。它设计为一站式解决方桉,可提供卓越的性能和精确、可预测的过程控制。它具有多功能性、耐用性和精确度,是尖端、高性能工艺的理想选择。
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