二手 NOVELLUS CONCEPT One #9026266 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一个下一代反应堆，设计成可扩展和量身定制，以适应不断增长的半导体产业的独特需求。它是一个冷墙EUV源，能够精确制造现代半导体器件制造中使用的元件。它能够在1m x 1m的广域内产生150-400 mW/cm2的功率密度,在40 cm的广域内产生平均相干长度。此功率密度能够将高效EUV系统的分辨率降低到0.15 nm。NOVELLUS CONCEPT ONE反应堆采用集成气体喷射设备，采用自动气体溷合技术，使其能够在激光腔加热的情况下产生改进的激光输出。这种一致的热剖面改善了激光束的聚焦，并允许对过程进行精确的控制。它进一步确保了该工艺的可重复性和稳定性，从而提高了产量和更好的工艺加法器。CONCEPT One还具有一个有源循环冷却器，该冷却器可将激光保持在恒定温度下，放大反应堆上的介质和光学元件。该热管理系统与原位诊断和反馈冷却系统配合使用，以提高反应堆的输出稳定性，从而对工艺参数进行微调。CONCEPT ONE还具有一个原位诊断单元，它允许测量制造过程周期中光束特性的时间演化。这样可以确保精确的光束输出,并随着时间的推移最大程度地减少对光学器件的损坏。此外，反应堆还具有高效的EUV源，从而创造了一种更有效的从激光到光学器件的能量传递方式，从而降低了功耗。NOVELLUS CONCEPT One是一个优化的EUV源反应堆，能够推动半导体行业取得成功。其动力和温度控制系统，加上其现场诊断和集成的气体喷射机，使其成为一种可靠而坚固的产品，高效且适合半导体行业的挑战性需求。