二手 NOVELLUS CONCEPT One #9089208 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一种尖端的化学气相沉积（CVD）反应器，利用先进的工艺技术，实现从半导体器件到OLED显示器等各种产品的高精度、高生产率的制造。NOVELLUS CONCEPT ONE的设计允许严格的过程通量控制和高吞吐量,以满足从研发到大批量生产的一系列生产需求。它具有广泛的应用，包括用于高级微处理器的高k CVD和低k CVD，以及用于OLED显示器和微电子设备的介电沉积。CONCEPT One还具有远程操作功能,使用户能够从远程位置启动、监视和完成进程。此功能允许自动化的过程控制和优化,最终导致优化的生产吞吐量。该反应堆基于NOVELLUS专利的热分离室（TSC）技术，该技术提供多个室的同时热控制和大面积沉积。这种多区腔室能够在整个过程中实现非常均匀、高质量的沉积,从而无需进行额外的调整或手动调整。CONCEPT ONE配备了自动启动功能，当用户设置反应堆时，它提供了一个逻辑自动化的过程。它还有一个数据收集系统，在过程中获取实时信息，从而增加吞吐量并能够快速评估和改进过程。NOVELLUS CONCEPT One的设计和构建具有灵活性,可互换模块易于拆卸和互换,以适应不同的工艺需求。此外，反应堆符合NOVELLUS Easy of Inspection计划，有助于确保工艺流程在任何时候都得到优化。总体而言，NOVELLUS CONCEPT ONE是一个最先进的CVD反应堆，利用先进技术提高生产效率和质量。它具有多种特性和功能,如远程操作、自动启动和多区域控制,允许用户提高生产速度、提高准确性和面向未来的流程。