二手 NOVELLUS CONCEPT One #9096029 待售
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NOVELLUS CONCEPT One是由NOVELLUS Systems, Inc开发的革命性反应堆技术。它旨在提高薄膜和先进材料结构的生产效率,同时提高工艺吞吐量和产品产量。线性反应堆设计将高温化学气相沉积(CVD)源与高效换热设备相结合,产生了广泛的沉积速率和成分控制。使用两个独立的CVD源还可以获得理想的薄膜质量,如表面均匀性和化学成分。这一反应堆技术在材料工程领域拥有20多年的经验,使原子层沉积(ALD)、金属有机化学气相沉积(MOCVD)、改性大气化学气相沉积(MACVD)等先进工艺成为可能。NOVELLUS CONCEPT ONE反应堆将包括一组定制设计的高温CVD元件在内的几种先进技术整合到单一的线性反应堆设计中。这些CVD元件被一个独特的热交换系统所补充,该系统能有效地分配废热,并有助于管理沉积时间和等离子体温度。反应堆还设有一套安全壳和调节系统,以帮助保护操作员,并创造稳定和安全的反应堆环境。这种配置提供了统一的温度控制、高效的工艺温度变化以及大范围的沉积速率,允许先进的材料结构能力。CONCEPT One反应堆是一个先进反应技术的例子,与传统系统相比,它提供了许多好处。它具有移动性、易用性和高能效,并且能够使用单个单元执行多个物料过程,从而节省了时间和资源,同时提高了产量。此外,机器体积小,在生产环境中的占用空间最小,因此适合用于研究、原型设计甚至工业应用。总体而言,CONCEPT ONE是一个功能强大且用途广泛的反应堆,能够精确调整所需的材料和结构。这种独特的设计是由先进技术触发的,能够高效生产各种薄膜和先进的材料结构,以安全可靠的方式提供更高的吞吐量和产品产量。
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