二手 NOVELLUS CONCEPT One #9096031 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一种高通量、基于等离子体的反应堆，专门为先进的半导体制造工艺而设计。它能够在单晶圆环境中提供过程解决方桉,从而提高了FB的生产效率、一致性和可扩展性。NOVELLUS CONCEPT ONE由Drossom提供动力，Drossom是获得专利的低温电弧等离子体源，提供超高离子通量（高达10^20 离子/cm2/sec）。这使它能够在等离子体处理之前预先清洁和增强晶片的表面。它是唯一提供这种超高离子通量同时保持低总拥有成本的同类产品。CONCEPT One还设有脉冲星预清洁模块，使用单个低压工艺室提供高温处理。该模块可用于处理碳沉积和模式诱导的产量损失等难题。它还使用户能够提高工艺吞吐量，实现更高水平的薄膜均匀性。CONCEPT ONE有一个分布式架构，四个反应堆结合两个或四个过程，以达到最大吞吐量。这允许快速缩放，并支持多晶硅沉积和掺杂等先进工艺。该反应器精度高，利用先进的自动调谐算法实现了快速优化和可重复性。NOVELLUS CONCEPT One是下一代半导体制造的革命性平台，具有高精度工艺控制、卓越的均匀性和快速吞吐量的空前组合。它为大批量制造能力提供了理想的解决方桉，并且是唯一为先进工艺技术而建造的高通量反应堆。