二手 NOVELLUS CONCEPT One #9096032 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一种下一代蚀刻反应器，旨在实现半导体制造环境中晶圆的更快、更高效的加工。它具有突破性的过程功能,使产品制造商能够在降低成本的同时扩展生产效率。NOVELLUS CONCEPT ONE利用物理、化学和生物组分的新颖组合，达到同级中最高的蚀刻速率性能。该反应器的核心是一种创新的超高密度等离子体微观薄膜和微观结构的组合，从而驱动蚀刻速率和优化工艺性能。与传统蚀刻工艺相比,高级蚀刻工艺提供了卓越的精度、选择性和可重复性,使客户能够减少生产时间和整个工艺时间。反应堆还具有独特的机械臂设计，允许晶圆处理设备的直接和精确操作，以及自动晶圆检查。这种先进的晶片处理能力确保了对过程的极其严格的控制,并显着降低了每晶片的成本。CONCEPT One还具有统一气体分配和气流控制的专有组合，以进一步确保过程的重复性和可靠性。这种独特的气体分配系统利用先进的几何形状来确保蚀刻剂和加工气体的均匀输送，从而能够快速优化蚀刻速率和加工条件。最后,CONCEPT ONE采用了一种新的后处理方法。集成的后处理功能允许快速、轻松地将其他过程纳入蚀刻循环,从而允许组合过程,如清洁和PVD,或PVD和蚀刻。这种先进的后处理功能缩短了工艺时间,改善了晶圆质量,并显着节省了成本。综上所述，NOVELLUS CONCEPT One是一个可靠、高性能的蚀刻反应堆，可实现更高的吞吐量、更快的循环时间和显着降低的成本。通过利用超高密度的等离子体、机械臂、均匀的气体分配和先进的后处理能力，它为制造商提供了在不断发展的半导体市场上扩大生产力和保持竞争力所需的工具。