二手 NOVELLUS CONCEPT One #9096052 待售

NOVELLUS CONCEPT One是由NOVELLUS Systems, Inc.开发的先进技术蚀刻反应器，用于最先进的硅蚀刻应用。该反应堆采用动态端点控制（DEPC）技术,使其能够实现显着更高的蚀刻速率、更好的工艺控制和改进的迭加配准,从而最终改善半导体生产过程。NOVELLUS CONCEPT ONE利用获得专利的DEPC技术使反应器能够精确控制化学辅助反应性离子蚀刻（CARE）过程,方法是管理将离子引入过程的速率,并对不断变化的端点条件做出反应以提供最佳的过程性能。这项技术还允许反应堆实时监测和评估蚀刻工艺的状态，从而导致更高的蚀刻速率和提高的工艺精度。CONCEPT One反应堆还具有获得专利和最先进的腔室几何形状，可降低气体噪声并提高过程稳定性。该反应堆配有快进气体输送系统，便于快速精确的气体输送，以及专有的接触器Edgestripet，提供光滑的边缘和更好的各向异性蚀刻轮廓。为了获得最佳性能,CONCEPT ONE反应堆可以配置各种高级过程控制选项,包括过程监控、过程和质量保证、过程数据收集和过程配方管理,从而实现了整个过程控制并提高了操作效率。反应堆还支持广泛应用的先进工艺配方，进一步提高工艺灵活性和控制。最后,NOVELLUS CONCEPT One是先进半导体生产的理想蚀刻反应器,具有更高的蚀刻速率、更好的工艺控制、更好的迭加配准和更高的工艺稳定性,是改进半导体制造工艺的理想工具。