二手 NOVELLUS CONCEPT One #9101005 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一种革命性的反应堆，能够在单个设备中提供高性能、高通量、低温钝化和蚀刻工艺。它是业界首个此类产品,旨在应对业界最复杂的挑战-从先进的逻辑设备到高级包装中的高长宽比接触结构。NOVELLUS CONCEPT ONE反应堆以1400°C的热墙、浅沟隔离（STI）蚀刻能力和高通量基板处理的独特组合运行。热墙产生高沉积速率、低温热过程和有限的化学活性。这允许在最先进的应用程序中更快地跳转到新技术节点并提高设备产量。浅沟隔离（STI）蚀刻被设计成在芯片特征上产生高质量、高纵横比的特征。该系统的高通量基板处理使得每小时可以对百余个晶片进行阵列处理。这种高性能蚀刻功能在不牺牲吞吐量的情况下增强了临界长宽比和整体图像质量。CONCEPT One反应堆的灵活性也允许在磁带输出和生产气氛中使用。可变压力室（VPC）单元允许用户与该室之间的动态界面,以确保实时处理环境条件的所有变化,从而确保产品的质量。这是通过将基板上的真空和气体流动与应用程序的外部输入相匹配来实现的。CONCEPT ONE还配备了几项高级高性能功能。它能够通过使用专用传感器阵列提供过程监控反馈以及性能反馈。这允许机器自行调整以适应不断变化的流程环境，以保持应用程序的最终性能。此外,该工具的自学功能使其能够优化每个特定应用程序的参数。NOVELLUS CONCEPT ONE反应堆将钝化和蚀刻工艺提升到新的水平，提供比以往更快的高质量产量。NOVELLUS CONCEPT ONE及其前沿功能使令人振奋的新性能潜力成为可能。