二手 NOVELLUS CONCEPT One #9113371 待售

NOVELLUS CONCEPT One是为薄膜化学气相沉积（CVD）而设计的一种反应器。反应堆的设计效率最高，为各种工艺提供了最高的性能和生产率。它是为自组装单层（SAMs）的沉积而设计的，单个循环最多可沉积五层。反应堆配有高性能阀门、溶液控制设备（SCS）和先进的过程控制系统。NOVELLUS CONCEPT ONE反应器能够控制底物温度、反应化学和沉积压力，以及其他参数。它还配备了高精度的气体控制系统，可以控制气体和蒸气流量。反应堆利用多个电极和电源。这一特性在沉积过程中提供了灵活性，允许用户轻松调节温度、溶液、压力和气流，以优化薄膜的沉积。CONCEPT One有一个先进的温度控制单元，可维持各种过程的温度，如热辅助CVD（TAV）、氧气辅助CVD（OAV）和化学辅助CVD（CAV）。温度由多个热电偶调节，这些热电偶放置在腔内，实时监控。本机优于典型的温度控制器，它突然改变温度，需要频繁的刀具重新校准和手动调整。CONCEPT ONE的高级解决方桉控制资产（SCS）提供了对溶液化学的无与伦比的控制。它包括两个组件：阳极活化和阴极活化.阳极活化允许底物和样品通过电位、温度和反应时间进行预循环。阴极活化允许底物按电位、温度和反应时间进行后循环处理。该模型提高了沉积过程的可靠性和可重复性。NOVELLUS CONCEPT One反应堆采用先进的工艺控制设备设计，作为用户与反应堆的主要接口。它提供了所有流程的说明,以及有关流程参数的实时反馈。该系统提供的信息也被用于优化沉积过程。该单位能够诊断异常，采取纠正措施并提供详细的过程直方图。以上提到的所有特性都结合在一起，使NOVELLUS CONCEPT ONE成为一种高效和高产的反应堆，用于化学气相沉积应用。机器使用户能够准确控制各种工艺的沉积参数，优化工艺，提高沉积的吞吐量和产量。凭借其先进的特点，CONCEPT One是沉积薄膜的优越反应器。