二手 NOVELLUS CONCEPT One #9144774 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一种高性能的单晶圆反应器，设计用于半导体制造中的高级沉积和蚀刻工艺。NOVELLUS CONCEPT ONE采用了一种新颖的单晶圆体系结构，提供了优越的控制和产量，优化了晶圆的对称性和均匀性。CONCEPT One专为减少粒数而设计，并配备了先进的过程监控能力。它采用模块化的单晶片设计，采用加热基板以最大限度地提高均匀性，采用先进的气流设备以确保对压力和流量的精确控制。CONCEPT ONE有四象限真空室设计，每个过程都有单独的腔室，以尽量减少交叉污染。它还包括具有四个独立载波的独特传输机制，从而提高晶圆吞吐量和均匀性。此外，NOVELLUS CONCEPT One拥有专有的电机系统和控制板，能够增强温度和压力控制。对于沉积，NOVELLUS CONCEPT ONE支持广泛的基材和材料，包括导电膜和非导电膜。反应堆有一个可调水冷陶瓷框架和先进的光学显微镜，确保精确对准。该单元还包括一个自动化的基板表面检测站，以确保可重复性和均匀性。对于蚀刻,CONCEPT One设计用于降低运营成本、提高产量和提高晶圆均匀性。该反应器具有新型的电感耦合等离子体源，其设计目的是减少等离子体损伤，提高步进覆盖率。此外，反应堆支持多种蚀刻化学方法，包括湿法和干法。CONCEPT ONE还配备了先进的过程控制机器，提供对整个过程的实时洞察。此功能允许用户监视流程参数、深入了解流程条件以及优化流程参数。此功能还允许更快的校准和过程设置时间。NOVELLUS CONCEPT One是一种高度先进、高性能的单晶圆反应堆，专为最苛刻的应用而设计。它具有新颖的设计和先进的特点，使沉积和蚀刻过程具有优异的性能和均匀性。NOVELLUS CONCEPT ONE是半导体和其他先进技术应用的理想选择。