二手 NOVELLUS CONCEPT One #9144937 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一种高速、高性能的蚀刻沉积反应器，设计用于先进的半导体制造工艺。它利用最先进的技术，在硅、零、铜、铝等多种材料中提供低成本、高质量的薄膜沉积和蚀刻。NOVELLUS CONCEPT ONE反应堆具有独特的设计，在高速提供大面积单晶圆处理的同时保持小占地面积。这样可以最有效地利用工厂中的空间。CONCEPT One有先进的温度控制设备，包括自调温度控制器和直流电（DC）偏置。这种先进的温度控制系统降低了不同载荷下的腔室不稳定性，从而降低了热损伤的可能性。CONCEPT ONE反应器还具有高速、高精度的流量控制单元，以确保精确的薄膜沉积速率。这台机器允许薄膜在晶圆表面最均匀和最具反应性的沉积。此外，反应堆具有高性能等离子发生器。该发生器的设计目的是向晶片表面输送高浓度的反应性物质，从而有效地蚀刻薄膜。NOVELLUS CONCEPT One反应堆还包括一个载荷锁定室和载荷/卸载管理工具。该资产简化了晶片进出模型的装卸过程，从而提高了工厂环境的生产率和安全性。还包括消磁、注气管线和安全控制，以保证操作员的安全。最后，反应堆带有强大的软件用户界面，使设备易于操作和编程。这允许使用实时监视和诊断、配方、远程操作和控制以及数据日志记录等功能。用户界面还支持系统的多阶段设置和定制，以实现最大程度的易用性。总体而言，NOVELLUS CONCEPT ONE是一种强大可靠的反应堆，设计用于各种材料的高质量、高精度的蚀刻和沉积。其先进的温度控制单元、精确的流量控制、高性能的等离子体发生器，使其成为当今先进半导体制造工艺的理想选择。