二手 NOVELLUS CONCEPT One #9148238 待售

NOVELLUS CONCEPT One反应堆是一种革命性的新型装置，旨在提高半导体产量。它是一个物理气相沉积（PVD）反应堆，与传统系统相比提供了更高的控制和明显更高的工艺精度。反应堆的多室设计以腔体、旋转基板加热器和加热盖为特色，确保整个反应过程温度一致。NOVELLUS CONCEPT ONE反应堆的主体是一个集成的晶片处理系统，由一个插槽板和一个装载机/卸载机组成，以确保晶片的快速准确的装卸。它还能够对压板进行位置控制，以确保精确的沉积过程。旋转基板加热器的设计旨在将热冲击限制在晶片上，从而提高工艺的重复性，更好地控制沉积工艺。加热的盖子提供了四个独立的温度区，横跨腔室的热长度。有了这一特点，每个区域都可以独立操作，以实现工艺的灵活性和准确管理晶片加热的能力。加热的盖子也显着降低了腔室内部的热质量，导致内部温度快速甚至升高。CONCEPT One反应器的设计是提供直接的温度测量和控制板材和基板相关的温度。这有助于确保更准确和可重复的沉积过程。这种先进的控制系统还能实现腔室压力、溅射电流、射频功率和射频匹配等广泛的控制参数。这确保了高度的过程可重复性和可靠性。CONCEPT ONE反应堆是一个极先进的PVD系统，提供前所未有的过程控制和精度。NOVELLUS CONCEPT One反应堆以其多重腔室设计、独立温区、直接温度测量、广泛的控制参数，是任何希望显着提升生产线效率的人都不会动脑筋的。