二手 NOVELLUS CONCEPT One #9148239 待售
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NOVELLUS CONCEPT One是一种先进的化学气相沉积(CVD)反应器,旨在使材料科学家和工程师创造出高性能、超均匀的薄膜涂层。它由强大的NOVELLUS CONCEPT ONE CVD平台提供动力,提供超精确的温度、压力和成分控制。这保证了涂层的精确组成和均匀性每一次都能达到。CONCEPT One系统能够提供均匀、一致的沉积速率以及高均匀性的薄膜厚度。这是由多种特性所实现的,包括其可嵌入的干膜喷嘴、双室设计和下一代电光头。CONCEPT ONE的可嵌入干膜喷嘴的独特之处在于,它可以很容易地进行调整,以适应一系列的应用过程,如蚀刻、沉积和溅射。这有效地帮助调整沉积速率,同时允许超均匀沉积速率。NOVELLUS CONCEPT One的双室设计有两个用途。首先,内室包含一个可变压力环境,用于控制沉积过程的温度。这是通过使用氙气、氮气或空气来实现的,这取决于正在加工的材料的性质。然后,NOVELLUS CONCEPT ONE的外室作为一个环境室,在喷嘴周围提供一个孤立的气氛,减少外部环境变化对涂层工艺的影响。这样可以实现结果的可重复性和一致性。CONCEPT One还拥有创新的电光头。测量和调整涂层光束的强度,确保利用最佳的光束能量来产生所需的涂层。这就优化了沉积速度,并导致了涂层的高均匀性。总体而言,CONCEPT ONE是一种先进的化学气相沉积反应器,使材料科学家和工程师能够制造高性能、超均匀的薄膜涂层。它由强大的NOVELLUS CONCEPT One CVD平台提供动力,提供超精确的温度、压力和成分控制。它还具有可嵌入的干膜喷嘴、双室设计和下一代电光头,所有这些都有效地帮助创造出一种统一、高质量的涂层。
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