二手 NOVELLUS CONCEPT One #9148330 待售

NOVELLUS CONCEPT One是由NOVELLUS Systems, Inc开发的先进蚀刻反应堆。它有一个专利喷射浸入工艺，用于精确控制气体在反应室内的流动和快速蚀刻基板上的结构。NOVELLUS CONCEPT ONE消除了常规蚀刻点火器的需要，允许蚀刻时间最多减少60%。CONCEPT One的特色是一个真空密封室，有多个气体输入和气体排气歧管。腔室设有蚀刻气体入口，以及气体扩散系统，以高效、均匀和均匀的流动分散蚀刻气体。蚀刻气体随后被困在旋风毯中，允许非常均匀，甚至蚀刻基板。CONCEPT ONE是一种低成本蚀刻反应堆，具有经济上的成本效益，提供多种蚀刻工艺。它配备了PLC控制器，以便对蚀刻过程进行精确控制，如气体流量、温度、压力和整体操作条件。这样可以获得最佳的工艺产量和优越的蚀刻质量。喷射浸入过程确保要蚀刻的蚀刻区域完全被蚀刻气体覆盖，使用的气体量可以得到严格控制。该过程发生在低压环境中，蚀刻时间最多可减少60%。NOVELLUS CONCEPT One还具有先进的介电蚀刻工艺。这些过程具有多气体等离子体和动态高性能磁场，允许最佳蚀刻质量。可调射频等离子体还提供了更大的过程控制，减少了持续修改的需要。概念1还提供双源等离子体选项。此功能允许动态过程更健壮,并产生更高质量的蚀刻。双源等离子体也减少了对等离子体腔充电的需要，提高了蚀刻生产率。NOVELLUS CONCEPT ONE是理想的蚀刻反应器，提供快速反应时间，可靠的工艺和经济高效的操作。适用于广泛的工业应用，提供基材精密蚀刻，工艺产量最佳，蚀刻质量优越。CONCEPT One是一个功能强大、经济的蚀刻反应堆，在制造几乎所有行业使用的重要部件和装置时必不可少。