二手 NOVELLUS CONCEPT One #9149818 待售

NOVELLUS CONCEPT One反应堆是一种下一代制造工具，旨在通过创新设计提供卓越的性能和设备灵活性。在其核心，NOVELLUS CONCEPT ONE反应器是一种高温化学气相沉积（CVD）系统，旨在通过快速的基板冷却、优越的温度和过程控制、快速的基板交换和短热循环等特性提供卓越的性能。该反应堆的设计目的是通过多个工艺头工具和多个工艺室等特点最大限度地提高工艺灵活性和能力，提供同时处理多达四种不同工艺配方的能力。该单元与多种材料和底物兼容，包括标准硅、砷化氙、氮化物等。该机器还能够处理各种材料的各种工艺参数。CONCEPT One反应堆的温度控制工具确保每个过程步骤在最佳温度下执行。温度控制在循环过程中监视基板的温度，并使用先进的算法来优化每个过程的温度。此外，资产的温度范围很广，可以进行各种各样的沉积过程。该模型还采用了快速基板加载/冷却设备，它提供了快速生成优越的结果，甚至更快的周转时间。该系统具有快速基板加载/冷却机制,可快速更换基板时间,最长可达60秒。这有助于控制沉积均匀性和最小化颗粒积累。CONCEPT ONE是基于多室设计和直观用户界面的高级单元。这台机器能够提供可靠、灵活和一致的结果。该工具旨在实现较高的吞吐量速率并最大程度地减少停机时间,以最具挑战性的流程所要求的可重复性和速度提供卓越的性能。