二手 NOVELLUS CONCEPT One #9158667 待售

NOVELLUS CONCEPT One是NOVELLUS Systems开发的一种革命性反应堆技术，用于先进的半导体生产工艺。该反应堆由石墨再入容器、加热工艺区和围绕工艺区的石英直列式绝缘组成。容器包含一个阶梯状的闭环结构，有五个部分；主线阀、上游阀、下游阀、预堆和反应堆。Mainline阀门充当入口阀门，控制过程气体流入反应堆，以创造所需的过程条件。上游阀门用于控制上游压力并启动过程启动，下游阀门用于调节压力以维持所需的过程条件。预堆部分包含基板加热器，为反应堆前的工艺区提供均匀加热。然后反应堆部分由两个室组成，即工艺室和底物室。製程室包含气体喷射器，用来将所需的製程气体套入腔室，以及质量流量控制器，将气体平均分佈通过腔室。加工室内的不锈钢衬里衬有石墨绝缘材料，而石英绝缘材料则放置在该室的外部。这有助于维持製程区的温度，而製程室本身有水平的设计，以确保全体的加热速率均匀。基板室还包含一个石英绝缘层，以帮助维持所需的温度，以及石英衬里的气体喷射器和质量流量控制器在半导体制造过程中提供工艺气体的统一应用。NOVELLUS CONCEPT ONE反应器的设计目的是将均匀的高温过程送入基板。它已被证明是先进半导体生产的可靠和有效的系统，其简化和高效的设计允许灵活性、易于调节的气流和最低限度的维护要求。