二手 NOVELLUS CONCEPT One #9169829 待售

NOVELLUS CONCEPT One Reactor是一种最先进的专有晶圆处理技术，专为高通量应用而设计。这种介电蚀刻反应器设计用于最大蚀刻速率、提高介电选择性和最大蚀刻均匀性。NOVELLUS CONCEPT ONE的主要应用包括高纵横比特征的蚀刻，包括闸沟、浅沟和接触孔。反应堆因其先进的加工技术、高通量的设计、热均匀性的增强而具有无与伦比的性能。它还采用了三维屏蔽设计，适应了高长宽比系统，从而提高了产品质量。专门加工室采用了前所未有的技术组合，可实现精确的蚀刻控制、高产率和改进介电均匀性。它还有一个直接喷射源，具有精确的气流控制，允许对腔室进行编程，以便在腔室内的任何给定点精确流动。此功能最大程度地提高了均匀性,实现了工艺灵活性和精确的高长宽比蚀刻。CONCEPT One的高长宽比特性允许蚀刻有时高达150：1长宽比的沟槽和接触孔。这需要比传统蚀刻技术更高的功率和更高的蚀刻速率。为此，CONCEPT ONE利用单频微波源和离子辅助蚀刻技术提供精确的蚀刻均匀性和角度控制。NOVELLUS CONCEPT One内置自动化，坚持大批量生产能力。对反应性流量控制等工艺参数进行了优化，确保了工艺的重复效果，保证了高产率。机器人操作的设备允许快速和精确的过程控制，这进一步有助于提高生产效率和可靠性。最后，NOVELLUS CONCEPT ONE是一个业界领先的晶圆处理系统，具有较高的蚀刻速率、选择性和均匀性。其介电蚀刻反应堆、自动化控制和集成的单频微波源可适应高长宽比设计，从而提高产品质量和提高生产吞吐量。