二手 NOVELLUS CONCEPT One #9183491 待售
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NOVELLUS CONCEPT One是一种先进的、用于半导体制造的单晶圆反应堆系统。它结合了最新的高通量、低拥有成本薄膜沉积技术和革命性的新功能,旨在提高工艺能力和可靠性。NOVELLUS CONCEPT ONE在其核心装有多个沉积反应堆，配置了新的或现有的薄膜沉积工艺。这些反应堆能够沉积技术要求最高的材料如超高k电介质、氧化物、氮化物和金属氧化物的薄膜。总体而言,CONCEPT One为薄膜沉积技术提供了独特、经济高效的方法。其最先进的设计提供了一个多反应堆，可访问各种工艺技术的在线形成解决方桉。它可以实现前所未有的可预测性、可重复性和设备寿命,同时大大降低流程成本。CONCEPT ONE比传统的单晶片非串联沉积系统有几个明显的优势。一方面,它的自动化集成平台经过精心设计,可最大限度地提高各种工艺技术的性能和效率,而无需人工操作。NOVELLUS CONCEPT One消除了沉积过程的每个阶段都需要单独的腔室和系统的需要,从而提供了一个更经济高效、可靠和可重复的TFDP解决方桉。此外,NOVELLUS CONCEPT ONE采用了经过验证的流式反应堆设计,可保证晶圆的均匀性,并提供卓越的精度和可重复性。通过使用模块化设计，CONCEPT One允许用户快速定制反应堆，为任何给定的应用提供最佳性能。此外,CONCEPT ONE先进的表面分析仪和原位气体控制技术可随时确保晶片的均匀性,从而确保最高质量的结果。对工艺环境的控制,加上其高沉积速率,使得晶片之间的均匀性和产量达到了无与伦比的水平,使NOVELLUS CONCEPT成为高级3D封装和互连应用的理想选择之一。最后，NOVELLUS CONCEPT ONE的可靠、易于维护的平台非常适合小型和大型生产。简而言之,它在高性能、低拥有成本、快速的流程设置和低维护要求之间提供了很好的平衡。所有这些加在一起构成了一个多功能、模块化和持久的系统，非常适合先进的半导体制造。
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