二手 NOVELLUS CONCEPT One #9193243 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一种先进的等离子体反应堆，为半导体工业提供高精度的加工。该反应堆利用独特的磁约束氙等离子体和自由电子激光光学的组合，创造了一个高效和成本效益高的制造半导体器件的工艺。这个最先进的反应堆是由领先的半导体制造高科技解决方桉提供商NOVELLUS Systems, Inc.开发的。等离子体反应室（PRC）是NOVELLUS CONCEPT ONE反应堆的心脏。这个腔室由光学窗、电源窗、腔室壁等几个组件组成。中华人民共和国采用了独一无二的氙等离子体和自由电子激光光学的组合，提供了精确的控制，并确保了加工过程中的可重复精度。氙等离子体被室外螺线管产生的磁场保持在适当的位置。当等离子体通电时，它充当反应性物质或中性物质的气体模式溅射源，从而实现更大的控制和过程灵活性。光学封装产生衍射定位的能谱形状，以增加过程选择性离轴和中心轴。CONCEPT One还配备了先进的高功率射频驱动设备，以提供最佳的等离子体控制。该驱动系统与等离子体频率精确匹配，产生大规模脉冲磁场以避免电弧产生所需的等离子体形状。该反应堆的先进控制装置确保了一个可靠和可重复的精密控制过程。这台机器的设计是为了补偿参数化的变化，如变化的背景或组件的污垢。CONCEPT ONE兼容半导体加工行业标准材料和配置。凭借其独特的射频驱动系统、光学和等离子体生产组合，这座反应堆可以处理多种底物和半导体材料，精确度和精度都非常出色。对NOVELLUS CONCEPT One的设计进行了优化，使其能够高产生产质量最高的半导体器件，为制造商削减周期时间和成本。