二手 NOVELLUS CONCEPT One #9222493 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一种高速、高精度等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器。该反应堆设计用于在多个晶片上进行广泛的沉积、蚀刻和沉积蚀刻过程。通过等离子体激活、多区域过程和动态自适应调整，它提供了比传统技术更大的均匀性和更好的过程控制。NOVELLUS CONCEPT ONE反应堆由真空室、天线设备、涡轮泵、射频发电机和狭缝阀组成。在真空室内部，反应性气体、氢气、氮气和氙气以所需的速率通过狭缝阀引入反应区。狭缝阀由气压驱动，可调节进气流。高频射频（RF）产生激活过程气体所需的等离子体，并通过天线系统耦合到反应堆。采用扫频技术对天线单元进行了优化。这使得射频发生器能够识别天线机的谐振频率，允许对过程参数进行精确控制。一旦射频发生器耦合到天线工具，涡轮分子泵就用来维持真空室内所需的压力。泵将过程气体分子从腔室中移除，并允许对腔室中的压力进行精确调整，有助于在过程中保持可重复性。在加工室内，射频发生器产生一个单色波能，激发过程气体分子。受激分子然后相互反应，在底物上形成薄膜。通过调整脉冲的直流偏差和持续时间以及过程气体的压力、温度和流速，可以精确调整等离子体种类、过程气体和基板之间的相互作用。CONCEPT One反应堆是一种通用、高效的沉积工具，增强了过程的均匀性，消除了晶圆对晶圆的可变性。其多区配置和动态自适应调谐可实现精确控制，并实现高级材料的高质量沉积过程。它非常适合先进的产品和工艺开发,可用于制造微结构和纳米结构组件。