二手 NOVELLUS CONCEPT One #9224615 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一种PECVD/CVD红外诱导的等离子体增强型化学气相沉积（PE-CVD）反应器，旨在实现薄膜层的低温沉积。其设计结合了多种特点，使其成为包括微电子、汽车、航空航天等行业材料沉积的灵活可靠平台。反应堆由射频源、工艺室、工艺控制设备、工艺机器人等几个主要部件组成。射频源用于生成沉积过程中使用的等离子体源。工艺室是发生沉积的腔室，通常包含一个基板支架、一个较低的电极和一个气态前体输送系统。过程控制单元用于控制整个沉积过程中的过程参数（如压力、温度、气流）。加工机器人负责样品基板的装卸和加工室内基板的转移。反应堆由于其独特的设计，能够实现非常低温的沉积。下电极利用低温等离子体，上电极利用高温等离子体。沉积过程中，下部电极的等离子体用于产生均匀的温度，从而允许均匀的沉积结果。上电极的等离子体也用于降低表面接触点温度，从而在沉积过程中进一步降低基板温度。为了进一步改进工艺，NOVELLUS CONCEPT ONE采用先进的闭环工艺控制机设计。该工具使用多种传感器来监控工艺参数，如每个电极的位置、基板的温度、气体流速等等。然后，该资产可用于根据需要微调工艺参数，以确保可重复性和最佳沉积结果。总体而言，CONCEPT One是一个可靠和灵活的沉积平台，能够在非常低的温度下提供可重复的沉积结果。其独特的设计、先进的工艺控制模型和无刀具操作使其成为需要快速低温沉积薄膜层的应用的理想选择。