二手 NOVELLUS CONCEPT One #9225569 待售

NOVELLUS CONCEPT One是专为先进半导体沉积应用而设计的革命性反应堆。该单元结合了高性能等离子体源和专门的远程腔室，提供了进一步增强半导体加工的能力。这种先进的设备提供了许多显着的好处。NOVELLUS CONCEPT ONE利用独特的等离子体源在胶片质量和可重复性方面提供了显着的改进。等离子体源使您能够快速准确地自定义过程以优化过程结果。遥控室允许更有效地利用气体和增加沉积速率，从而产生优越的处理能力。凭借先进的基板加热和冷却能力，CONCEPT One可以达到高达800摄氏度的温度，并提供快速高效的热控制。反应堆提供超快的开启时间，只有几分钟启动和全油门之间。此外，系统几乎无限的可扩展性允许最多八个腔室，每个腔室有八个源，并且可以很容易地同步。CONCEPT ONE还具有基于PC-和PLC的集成电气和控制单元,可实现各种过程的完全自动化。这种独特的功能组合使工艺工程师能够轻松地在沉积配方和蚀刻配方之间切换。因此,这种先进的设备提高了吞吐量、产量和正常运行时间。NOVELLUS CONCEPT One是一种全自动反应堆机器，经过设计，可以处理范围广泛的过程，包括低和超低k电介质、钨、铜、贵金属，甚至砷化零。它可以精确定位几百微米内的晶片基板，并提供几种内置的安全特性。总体而言，NOVELLUS CONCEPT ONE是先进半导体沉积应用的绝佳选择。凭借其令人难以置信的自动化能力和改进的性能，这一单元可以显着精简和优化半导体基板的加工。高精度的沉积轮廓和快速打开时间使其成为当今复杂制造环境的理想选择。